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电子厂洁净室案例分享



该项目以半导体芯片封装测试洁净区为核心,深度融合数字化建模、标准化施工与全流程洁净管控理念,打造符合SEMI、ISO及GB50472三重标准的高精密生产空间。

01

赋能芯片制造高精度战略

半导体芯片制造对环境洁净度、温湿度稳定性、防静电干扰及微振动控制要求堪称 “极致苛刻”哪怕 0.1μm 的悬浮粒子附着在芯片表面,都可能导致电路短路;静电放电更可能直接击穿芯片精密结构。该电子厂此次扩建项目聚焦14nm芯片封装测试环节,需实现从晶圆传输到成品检测的全流程洁净控制。项目团队通过数字化模拟技术,精准优化气流组织(垂直单向流风速稳定在 0.45±0.05m/s)、静电接地电阻(≤1Ω)及微振动控制(振幅≤2μm),确保洁净区达到 ISO5级标准。

02

以标准化夯实洁净根基

在项目执行中全程落地标准化管理体系,从施工人员资质认证到工序验收标准,均建立可追溯的规范流程,确保每个施工环节处于 “可控、可查、可追溯” 状态。

03

数字化驱动毫米级精度施工

面对电子洁净室 “管线密集、精度严苛” 的施工挑战,项目团队以数字化技术为核心驱动力。基于前期构建的全维度 BIM 模型,精准模拟设备布局、工艺管道、FFU(高效过滤单元)安装及防静电地板敷设等关键环节,利用三维可视化技术指导现场施工,使设备定位、管线对接精度控制在±2mm内。

04

多专业协同 零返工高效交付

电子洁净室涉及土建、暖通(洁净空调)、工艺管道(高纯气体 / 化学品)、电气(防静电接地)、自控(环境监测)等 12 个专业,各系统交叉密集。项目团队搭建跨专业协同平台,实现进度数据实时共享、工序节点联动,通过 “专业接口预演 — 冲突提前化解 — 进度同步推进” 机制,最终实现零重大设计变更、零返工拆除的高效施工成果。  

05

全流程洁净管控体系

项目现场严格执行四级洁净防护” 制度(人员、物料、工具、环境):所有进入洁净区的人员需经过风淋室30秒净化、穿戴防静电洁净服(鞋帽连体);物料通过专用传递窗经UV消毒+ HEPA过滤后进入;施工工具采用无尘化处理每日施工结束后对地面、墙面进行激光粒子计数器抽检,确保施工过程洁净度不降级。

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超标准检测与验证

检测阶段执行 “双标比对” 方案 —— 既符合ISO14644-1洁净室分级标准,又满足客户提出的 “动态生产状态下持续达标” 要求。通过粒子计数器、温湿度巡检仪、静电测试仪等精密设备,对洁净度、温湿度、压差、防静电性能等28项指标进行连续72小时监测,最终所有指标均优于合同标准,顺利通过第三方权威机构验证。


图文来自网络

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